高真空和超高真空被用于尖端材料研究和微電子生產(chǎn)中,。電離計是用來測量此類真空環(huán)境下壓力的唯一方法。制造電離計使用的不同方法,，以及電離過程中使用的不同氣體,，導(dǎo)致不同電離計之間的相對靈敏度系數(shù)有很大差異，而且都缺乏長期穩(wěn)定性,。這些制造方法的性能可以通過標(biāo)準(zhǔn)化來大大改善,。

2020年12月28日消息，最近完成的歐洲創(chuàng)新與研究計量計劃（EMPIR）項目“為電離真空計制定文件標(biāo)準(zhǔn)”（Towards a documentary standard for an ionisation vacuum gauge,，16NRM05）致力于為改良后并已標(biāo)準(zhǔn)化的電離計規(guī)定所有相關(guān)參數(shù),。這些技術(shù)成果將為關(guān)于電離計的新ISO標(biāo)準(zhǔn)提供參考依據(jù)。

該項目開發(fā)了一個具有標(biāo)準(zhǔn)功能和性能的標(biāo)準(zhǔn)化電離計,，這意味著它可以用來實現(xiàn)測量的可追溯性,。

該電離計將供校準(zhǔn)實驗室使用，為校準(zhǔn)實驗室提供一個可靠的參考標(biāo)準(zhǔn),，并允許電離真空計的制造商按照即將出臺的ISO技術(shù)規(guī)范生產(chǎn)該真空計,，這將是一個新的工作組的主題，也是EMPIR的一個新項目“開發(fā)一項ISO技術(shù)規(guī)范‘穩(wěn)定電離真空計的特征’”（Developing an ISO Technical Specification "Characteristics for a stable ionisation vacuum gauge,，20SIP01,，ISO量具）。

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