2019年1月，國際標(biāo)準(zhǔn)化組織（ISO）發(fā)布了在成像表面化學(xué)分析中測量橫向分辨率和明銳度的方法ISO 18516: 2019。它適用于所有使用光束在已設(shè)置好的儀器下分析表面化學(xué)成分的表面分析方法。同時(shí)它也適用于能在預(yù)先選定的視場中用精細(xì)聚焦光束對樣品能進(jìn)行掃描的掃描儀器，以及能讓視場同時(shí)被寬光束、成像透鏡系統(tǒng)和像素化檢測器成像的全場成像儀器。測量橫向分辨率和明銳度的方法如下：

　　－直線邊緣法（the straight edge method）；

　　－窄線法（the narrow line method）；

　　－光柵法（the grating method）。

　　該標(biāo)準(zhǔn)適用于提供納米厚度層信息的儀器和方法，也適用于具有納米尺寸結(jié)構(gòu)和獨(dú)立納米物體的表面。

　　本新聞?dòng)蓮V東省WTO/TBT通報(bào)咨詢研究中心摘錄/編輯/整理并翻譯，轉(zhuǎn)載請注明來源。
　　更多詳情請見：https://www.iso.org/standard/63863.html